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纳米构建热电薄膜
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建热
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纳米构建热电薄膜
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纳米构建热电薄膜
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目录
1 研究背景与现状
2 热电性能测试方法与装置
3 Si基多层薄膜
4 Sb2Te3 基多层薄膜
5 磁控溅射法制备Sb2Te3 /Bi2Te3 系薄膜
6 分子束外延法生长Sb2Te3 薄膜
7 分子束外延法生长Bi2Te3 薄膜
8 总结与展望
附录1 Si和Sb2Te3基多层薄膜热导率
附录2 Sb2Te3基多层薄膜热电性能
附录3 磁控溅射Sb2Te3/Bi2Te3基薄膜热电性能
附录4 分子束外延法制备Sb2Te3/Bi2Te3薄膜热电性能
重要符号列表
参考文献
封底
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