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现代集成电路制造工艺
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简介
现代集成电路制造工艺
现代集
成电路
工艺
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封面
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序言
前言
目录
模块一 半导体产业和摩尔定律
模块二 硅晶圆和晶圆制备
模块三 芯片制造的污染与净化
模块四 集成电路成膜工艺
模块五 光刻中的光学与光刻机技术
模块六 光刻、蚀刻和掺杂工艺
模块七 集成电路封装
模块八 集成电路芯片测试工艺(现场实例)——“1+X”证书考证实例
参考文献
附录 半导体制造专业词汇英汉对照
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