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现代集成电路制造工艺
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2025-03-25 07:21:04
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  • 模块一　半导体产业和摩尔定律
  • 模块二　硅晶圆和晶圆制备
  • 模块三　芯片制造的污染与净化
  • 模块四　集成电路成膜工艺
  • 模块五　光刻中的光学与光刻机技术
  • 模块六　光刻、蚀刻和掺杂工艺
  • 模块七　集成电路封装
  • 模块八　集成电路芯片测试工艺（现场实例）——“1＋X”证书考证实例
  • 参考文献
  • 附录　半导体制造专业词汇英汉对照
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